現代科技應用隨著製程與材料都進入奈米等級快速推進，現行液態材料的奈米觀測方案多以光學顯微鏡為主，量測能力至 200nm 為其物理極；如選用利用電子束聚焦當光源推進量測能力的電子顯微鏡，則必須在真空環境下才有可能成像，但液態檢測樣本因無法適存於奈米科技檢測用電子顯微鏡的真空腔槽，因此難以克服原樣觀測的技術瓶頸。
為了解決現有技術的侷限，使光學顯微鏡可檢測奈米級濕性樣本，FlowVIEW創辦人暨執行長李信宏從任職工研院時期開始，便潛心研發適用於光學顯微鏡和電子束顯微鏡的基本套件，2017年7月李信宏從工研院獨立出來開始創業，並於短時間推出「Flow AOI Solution」基本套組，使奈米級濕性材料檢測可以不受限於硬體設備，提供相較於全球市面上同級產品，更加多元化且智慧化的分析服務。
突破現有技術侷限，Flow AOI Solution化不可能為可能！
電子顯微鏡運作原理須將觀察腔抽真空，但無論半導體、生技、能源、生醫藥產業所需觀測的濕性樣本卻會因真空環境導致觀測結構(如細胞膜或細胞壁等)無法負荷抽真空後的內部壓力而損毀，因此，幾十年以來行業中的觀測幾乎都採取將濕性材料烘乾後再進電子顯微鏡觀察，如果轉而使用的近億級的TEM（Transmission electron microscope，穿透式電子顯微鏡），雖可以直接觀測濕性材料，但是TEM的電子束仍會直接打穿材料，因此沒有辦法觀測到活體細胞。
「我們在 SEM（Scanning Electron Microscope，掃描式電子顯微鏡）底下可以使用的觀測晶片，也就是由我們的微流控晶片所衍伸出來的系統。」FlowVIEW 的專案經理李虹提到，這個獨特的解決方案「Flow AOI Solution」基本套組包含 Wet cell 晶片模組、Wet cell安裝模組、液體套件監控模組，其中，晶片模組可將濕性樣本直接送入真空腔的電子顯微鏡內，且FlowVIEW所開發的的觀測薄膜只有20至50奈米，保護受觀測物質在抽真空的過程中結構不被破壞，相當適用於研究室的實驗器材與產線的自動化檢測。
填補奈米等級監測的缺口，200到1奈米的觀測不再是天方夜譚
「我們的核心技術雖然是晶片，但我們一系列檢測相關設備，包括軟體也能切合企業所需，因此半導體公司如台積電、三星電子、LG都是我們的客戶。」，創辦團隊認為 FlowVIEW 之所以能在創業初期就擁有較為顯赫的客戶，其原因在於這些大廠的材料及機器十分昂貴，經不起大規模的損失，因此更需要精確的解決方案去做檢測，保護產品免於風險，進而恐固商譽、降低實體資材的損失。
不只是科技大廠，目前包括化妝品、生醫產業界等，不管是對人體有益/害的物質、化妝品含料都逐漸朝奈米等級發展，但觀測界的技術卻遲遲無法跟上，而 FlowVIEW 恰好不足了當中的落差。「現在大家常常使用的 200 奈米光學顯微鏡，就已經是極限了，即便科學家常用的 TEM 可以觀測 1奈米以下的物質，但是 200 到 1 奈米的觀測一直以來都存在缺口。」李虹強調，過去有半導體廠因更換供應商的原料出了問題，但線上晶圓檢驗（in-ck101.com/ wafer inspection ）儀器無法檢測出該異常的情況，造成部分晶圓良率偏離，損失不計其數。
濕性材料的奈米級元素常有團聚成粒子的狀況，致使拋光時這些粒子就會刮傷產品表面，現有的檢測系統卻難以觀測。雖有國際廠商宣稱可觀測到 30 - 50 奈米左右的濕性材料，但 FlowVIEW 和iST宜特科技 合作的實驗檢測結果更加穩定。
從觀測到AIoT串聯軟硬體，Flow AOI Solution可達到兩秒內即時回報
隨著半導體製程越加精密，奈米粒子的觀測市場預計在2025年可達到1180億美金的市值，「積體電路發明的這六十年，一直沒辦法做到濕製成材料的監測，我們總結了很多以往的觀測方式，Flow AOI Solution 現在已可以做到下至 1 奈米、上至 1 毫米，無論在量測能力、距離、畫素，我們都處於業界領先的位置。」，團隊表示，根據現有客戶驗證可為濕製程良率提升 5 個百分點。
「若想要將解決方案導入整個半導體產業界的話，我們必須加入AIoT去做辨識才有辦法在他們的產線上做自動檢測。」李虹分享，自動檢測可達到兩秒內即時反應液體樣本是否出現狀況，因此，相對於國外競爭者，FlowVIEW 能夠掌握的技術更加精實，在目前的市場上不容易被取代。除此之外，其基本套件可觀測到各種奈米結構的力、光、電、磁等物理與化學性質，包括所有形態學相關資訊，如成分、尺寸、分佈、形狀等都能即時檢測，且不需稀釋、能以原液觀察，這顯然已經突破現有檢測方法的極限，達到具有前瞻性的檢測技術標準。
「我們擁有最重要的晶片研發、微流控系統，以及最獨家的全球獨家影像資料庫，因為沒人可以拍濕性材料，建立足夠的資料庫。」李虹補充說道，未來，FlowVIEW也不排除將服務導入其他的產業界，以自動的監測系統以及濕性材料的數據資料，提供更加符合需求的客製化解決方案。
展望生醫產業未來，期待為癌症標靶藥物盡一份心力
未來，超越光學檢測等級的濕性奈米材料會越來越普及，在各產業市場也將逐漸擴大，李虹解釋：「過去，同業認為大部分的藥品利用光學檢測就足夠了，但當醫療技術越來越先進，治療癌症的奈米標靶藥物研發趨於成熟，過往的觀測方法也就不敷使用了。」FlowVIEW期望能將濕性材料的觀察導入醫療產業，使醫學研究者能將細胞放在具溫控的原液培養皿中進行觀察，如此一來，細胞才能在活體的情況下被完整監控。
「將解決方案導入醫療產業，是我們更遠的目標，希望未來有一天，因為奈米級標靶藥物的研發，癌症也能對症下藥，轉而成為慢性病，而非絕症。」FlowVIEW創辦人暨執行長李信宏說道，FlowVIE目標於未來十年於歐盟、美國建立FDA（U.S. Food and Drug Administration，美國聯邦食品藥物管理局）認證，締造世界級奈米檢測儀器的新標準。 |
