南韓媒體朝鮮日報日文版、中央日報日文版 3 日、4 日報導,三星電子已開始在部分半導體產線上使用國產氟化氫。三星於 3 日宣布,「最近開始在部分半導體製程投入國產氟化氫」。此為三星在日本祭出管制令來約 2 個月時間就開始採用國產品替代日本製產品,替代作業較預期更快。業界原先預期要在半導體製程使用替代品恐需 3~6 個月
報導指出,三星已從 8 月中旬開始在部分半導體製程使用由南韓 SoulBrain 和 ENF Technology 製造的氟化氫。兩家公司原先是從日本森田化學工業、Stella Chemifa 進口高純度氟化氫並精製後,出貨給三星,而此次是使用中國製無水氫氟酸,成功製作出純度 99.999% 的氟化氫液狀產品。
據報導,在 500 個以上半導體製程中,約 50 個需使用氟化氫,三星在其中 1~2 個開始使用國產品替代日本製產品。氟化氫是用於半導體/面板蝕刻、洗淨工程必需的關鍵材料,據韓國貿易協會指出,截至 2019 年 5 月底,南韓對日本製氟化氫的依賴度達 43.9%。
純度 99.999% 以上的高純度氟化目前由森田化學工業、Stella Chemifa 等日廠掌控全球 70% 以上市佔率。 |